Projects List
인공지능 기반 반도체 공정 클러스터 장비의 Schedule 최적화 모델 개발 직책: 연구 책임자 기간: 2025.02 ~ 2026.01 연구 필요성 반도체 제조 공정에서 클러스터 장비의 최적화는 생산성과 비용 효율성을 높이는 데 매우 중요한 역할을 한다. 그러나 기존의 Dispatching Rule 기반 스케줄링은 […]
[SK하이닉스 i-tap] 고객 QoS(Quality of Service) 달성을 위한 Read 동작 최소화 직책: 연구 책임자 기간: 2023. 04 ~ 2023. 08 연구 필요성 3D 적층 구조의 NAND Flash 제품들은 메모리 Cell의 직접도를 높였지만 인접 Cell 간 산화 막 두께 한계로 인해 […]
[SK하이닉스 i-tap] 부품 교체 정보를 활용한 Dynamic System VM Modeling 직책: 연구 책임자 기간: 2022. 08 ~ 2022. 11 연구 필요성 공정의 Predictive Maintenance (PM) 이후 발생하는 Data의 Drift, Shift 양상은 Random에 가깝다고 보고 Virtual Metrology (VM)을 하기 위해서는 PM […]
심층강화학습 기반의 R2R 제어 알고리즘 개발 직책: 연구 책임자 기간: 2023. 01 ~ 2023. 12 연구 필요성 복잡해지는 제조 공정으로 공정 변수들과 관측치가 점점 복잡한 관계를 갖는 추세이다. 따라서, 공정 변수들과 관측치가 복잡한 관계를 갖더라도 이를 반영하여 공정 변수를 제어하는 […]
[SK하이닉스 i-tap] HARC Etch 공정에서 OES Full Spectrum을 이용한 EPD Modeling 직책: 연구 책임자 기간: 2021. 06 ~ 2021. 10 연구 필요성 Etch 공정에서 발생하는 Optical Emission Spectroscopy (OES) 데이터는 End Point Detection (EPD)와 관련된 정보를 포함하고 있다. 서로 다른 […]
